Micro Electro Mechanical System マイクロフォンの略で、半導体型(いわゆるチップ部品タイプ)のマイクロフォン部品を指します。
MEMSマイクは、マイクユニットの心臓部である振動板や電気信号への変換回路などが、小さなケースでおおわれたチップ内に組み込まれています。一般のチップと異なるのは、音波を通すためにケースには穴が空いていることです。
MEMSマイクは、極めて小さなチップ部品になっていますので、製品基板上に直接マウントすることが可能で、特に多くのマイクを使ったマイクアレイを簡単に構成することができます。
さらに、MEMSマイクの出力は、通常PDM(パルス密度変調)と呼ばれる一種のデジタル信号になりますので、AD変換器が不要になり、直接DSPに入力することが可能になります。